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      合景集團發布

      首頁 新聞中心 行業資訊 半導體潔凈車間規范安裝詳解

      半導體潔凈車間規范安裝詳解

      2024-05-24
      共有472家企業看過

        在半導體產業中,潔凈車間的安裝和配置至關重要,它直接關系到半導體產品的質量和生產效率。合潔科技電子凈化工程公司將詳細解析半導體潔凈車間的規范安裝過程,包括地面、墻面、天花板、電氣設備以及空調新風系統等的安裝要點,旨在幫助讀者了解并掌握半導體潔凈車間的安裝規范。

        1、確定設計方案:根據車間的使用需求和潔凈度要求,確定車間的設計方案,包括墻面、天花板、地面、門窗、空調系統、照明系統等。

        2、材料采購:根據設計方案,采購符合潔凈度要求的材料。例如,地面材料應選用防滑、耐腐蝕、易清潔的材料,如環氧樹脂自流平地坪或PVC地坪;天花板材料應選用具有防火、防塵、防水、易清潔等特性的材料,如鋁合金板或PVC板;墻面材料應選用耐腐蝕、易清潔、無塵的材料,如彩鋼板或不銹鋼板。

        3、施工準備:對車間進行清潔和消毒,準備施工所需的工具和材料,如切割機、焊接機、螺絲刀、螺絲等。

        4、墻面和天花板施工:根據設計方案,對墻面和天花板進行施工,包括切割、焊接、固定等。注意保持施工環境的清潔,避免灰塵和雜質對車間潔凈度的影響。


      半導體潔凈廠房


        5、地面施工:根據設計方案,對地面進行施工,包括打磨、涂裝、固定等。確保地面的平整度、坡度和防滑性,同時應進行防潮處理。

        6、空調系統和照明系統安裝:根據設計方案,安裝空調系統和照明系統,包括管道、電線、燈具等。注意空調系統的管道材料應選用耐腐蝕、易清潔、無毒的材料,如不銹鋼或聚丙烯管。照明系統應確保光線充足且均勻分布,避免陰影和眩光。

        7、門窗安裝:根據設計方案,安裝無塵門、無塵窗等特殊設計的門窗。確保門窗的密封性和氣密性,避免外界空氣和塵埃的進入。

        8、電氣設備安裝:電氣設備應按照設計圖紙進行安裝,確保其位置、大小和數量等參數符合設計要求。電纜橋架和電線管路應排列整齊,避免交叉和混亂。電氣設備的外殼應接地,以確保使用安全。

        9、消毒設備和垃圾處理設備安裝:根據設計方案,安裝紫外線消毒燈、臭氧消毒器等設備,以及密閉式垃圾桶和專門的垃圾處理設備。確保設備的正常運行和定期維護,以保證車間的潔凈度和衛生狀況。

        10、FFU過濾器安裝:對于百級潔凈室等高級別潔凈區域,需要安裝FFU過濾器。從運輸包裝箱中小心地取出高效過濾器,查看在運輸過程中是否有任何部件損壞。取下塑料包裝袋,將FFU和高效過濾器放置在清潔的房間內。然后,把FFU及高效過濾器安裝在吊頂龍骨上。

        11、空調控制系統安裝:采用全年自動控制系統,控制器安裝在車間內,可顯示車間溫度,并可手動進行控制。確保系統的穩定運行和精確控制,以滿足車間不同區域的溫度和濕度要求。

        12、新風系統安裝:每臺空氣處理機組均獨立設置新風系統,新風管上安裝風量調節閥。新風經過空氣處理機組集中制冷,并經過初中高效過濾器處理后送入半導體芯片凈化車間內,確保半導體芯片凈化車間內的新風量要求和正壓要求。

        13、隔斷安裝:生產車間隔斷用50mm厚巖棉彩鋼板,具有美觀耐腐蝕的特點,有良好的隔熱作用。隔斷安裝配件采用陰陽三維接點鋁球面,陽角處安裝鋁合金角鋁,門口斷開處應收口。施工安裝時,應先進行吊掛,錨固件與建筑主體結構(地面、樓面、天花)的固定。

        在整個安裝過程中,需要嚴格遵守半導體潔凈車間的施工標準和規范,確保每個環節的施工質量和潔凈度要求。同時,還需要對施工現場進行分區管理,確保各個作業區域的獨立性和安全性。

      EPC無塵凈化工程案例

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